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类金刚石镀膜设备

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Semiconductors

Physical / Material research

类金刚石 (DLC) 涂层是一种无定形纳米复合碳材料，具有与天然金刚石相似的特性，包括低摩擦、高硬度和高耐腐蚀性。正确的涂层可以减少滑动磨损，而类金刚石 (DLC)镀膜机可以提供正确的涂层。当您为您的产品添加类金刚石 (DLC) 涂层时，它们的硬度和耐腐蚀性可与钻石相媲美。类金刚石膜 (DLC)具有高硬度、耐腐蚀、抗磨损、低摩擦等优点，可应用于工具涂层、半导体模具、光学镜头、医疗器械等。

SYSKEY 的类金刚石 (DLC)镀膜机可以通过监测参数（腔室压力、特殊气体的质量流量）单独精确控制工艺气体。此外，SYSKEY的类金刚石膜 (DLC)具有更好的附着力和高韧性的特性，可以满足独特产品应用的硬度、电阻率和耐磨性的要求。

应用领域	腔体
医疗和商业产品的耐磨薄膜封装、绝缘防刮显示屏	客制化的腔体尺寸，取决于基板尺寸和其应用通过使用水冷、水热系统或加热器来控制腔体温度
配置和优点	選件
客制化的基板多载片优异的薄膜均匀性小于+-3% 精准流量控制器，气体分布高度均匀使用电容式藕荷电浆(CCP)