设备产品

电子束蒸镀

OLEDs / Display

OPV / Perovskite Solar-Cell

Semiconductors

Physical / Material research

电子束蒸发系统为一种物理气相沉积（PVD）技术，其中电子束是由钨丝所产生的，并受到电场和磁场的驱动而朝向蒸发材料，并将其材料由固态转化为气态以沉积在基板表面上。且该过程需在高真空环境中，以通过自由路径的方式在基板表面上形成薄膜。

电子束蒸发比热蒸发更具有优势。它能够在非常高的温度下熔化材料，如钨、石墨...等等。结合石英震荡片的反馈信号，可轻松控制蒸发速率，以调节电子束电流并蒸发更多材料而不会破坏真空。因此，电子束蒸发用于薄膜制程领域，包括半导体、光学、太阳能电池板、玻璃和建筑玻璃，因此它们具有所需的导电，反射，透射和电子等特性。