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设备产品

串集多腔镀膜设备

多腔体镀膜系统是一组真空腔系统,这些真空腔系统通过位于系统中心的传输腔相互连接。从基材的清洁、镀膜与封装的所有过程都在不破坏真空的环境下连续进行。所有这些过程使外部环境的影响最小化,以防止在沉积的过程中基板表面氧化,并为元件制造提供了最大效率。

Syskey可根据客户要求提供多腔体镀膜系统。我们的系统通常包含溅镀、蚀刻、PECVD、热蒸发、ALD、退火、电浆清洗和冷却系统,这些系统可用于FPD、电子行业、太阳能电池和半导体行业。


 

应用领域 腔体
  • 半导体行业。
  • 太阳能电池。
  • LED。
  • 有机发光二极体。
  • 有机光伏打电池。
  • 平板显示器。
  • 客制化的腔体尺寸取决于基板尺寸和应用。
  • 带有机械手臂的铝制腔体,用于在腔体之间的传送。

 

  选件
 
  • 溅镀。
  • PECVD。
  • 干蚀刻。
  • ALD/ PEALD。
  • 电浆清洗。
  • 热退火。
  • 电子束蒸发。
  • 热蒸镀。