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设备产品

热蒸镀设备

 

 

 

热蒸发制程是用于沉积材料中最简单的物理气相沉积(PVD)。将材料(金属或者有机材料等)置于真空环境中的电阻热源中,使其加热并蒸发,以最直接的方式蒸发到基板上,然后在基板上凝结成固态形成薄膜。热蒸发比溅镀提供更快的蒸发速率,但是,其容纳材料的舟或坩埚尺寸有限,并且难以控制其蒸发速率。该方法通常用于小规模同时控制多组电阻热源来沉积电极,如单层薄膜或共蒸发薄膜。