化学气相沉积
化学气相沉积为一种制备于高纯度、高性能的固态材料的化学技术。因此，该制成通常在半导体工业中制备薄膜，而所沉积的材料包夸:钻石、矽、碳纤维、奈米线、奈米碳管、SiO2、钨以及具有High-K特性的材料。
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类金刚石镀膜设备
类金刚石 (DLC) 涂层是一种无定形纳米复合碳材料，具有与天然金刚石相似的特性，包括低摩擦、高硬度和高耐腐蚀性。正确的涂层可以减少滑动磨损，而类金刚石 (DLC)镀膜机可以提供正确的涂层。当您为您的产品添加类金刚石 (DLC) 涂层时，它们的硬度和耐腐蚀性可与钻石相媲美。类金刚石膜 (DLC)具有高硬度、耐腐蚀、抗磨损、低摩擦等优点，可应用于工具涂层、半导体模具、光学镜头、医疗器械等。
SYSKEY 的类金刚石 (DLC)镀膜机可以通过监测参数（腔室压力、特殊气体的质量流量）单独精确控制工艺气体。此外，SYSKEY的类金刚石膜 (DLC)具有更好的附着力和高韧性的特性，可以满足独特产品应用的硬度、电阻率和耐磨性的要求。
| 应用领域 | 腔体 |
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| 配置和优点 | 選件 |
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