电子束蒸发系统为一种物理气相沉积（PVD）技术，其技术比热蒸发更具有优势。它能够在非常高的温度下熔化材料，如钨、石墨...等等。结合石英震荡片的反馈信号，可轻松控制蒸发速率，以调节电子束电流并蒸发更多材料而不会破坏真空。

电子束蒸发其电子束是由钨丝所产生，并受到电场和磁场的驱动而朝向蒸发材料，当电子与材料撞击时，电子的动能将转换成热能，及加热材料，使材料由固态转化为气态以沉积在基板表面上。且该过程需在高真空环境中，通过自由路径的方式在基板表面上形成薄膜。

在半导体制程中，当遇到不易使用蚀刻方式来完成想要的电路图案时，就可以采用 Lift-Off制程来做出想要的金属图案。在此过程中，电子束蒸发于在基板表面上沉积所需的薄膜层于牺牲层与基材上，最终在洗去其牺牲层，以得到其电路图案。