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设备产品

FPD-PVD磁控溅镀设备

随着LCD面板和制造所需玻璃的尺寸的增加,制造设备也随着变得更大,需要越来越大的设备投资。 SYSKEY针对中小尺寸的需求开发串集的PVD 设备,拥有4个单独的溅镀腔体,让客户能任意搭配沉积的材料,同时保有弹性和具有选择性的系统。



 


 

应用领域  
  • TFT-LCD。
  • 太阳能电池。
  • 触碰屏。
  • 氧化物、氮化物和金属材料的研究。
 
配置和优点 选件
  • 客制化基板尺寸最大为550 x 650 mm2(玻璃)。
  • 优异的薄膜均匀度小于±5%。
  • 稳定的温度控制,可将基板加热到400°C。
  • Cassette传送站。
  • 基材电浆清洁。
  • OES、RGA或制程监控的额外备用端口。

 

 

 

 

 

 

 

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