热蒸发是物理气相沉积（PVD）中最常用方法，也是PVD最简单的形式之一。使用电加热的蒸发源可用于沉积大多数的有机和无机薄膜，其中以电阻式加热法最为常见的。这些蒸发源的优点为它们可以提供一种简单的薄膜沉积方法，以电流通过其容纳材料的舟为方式，从而加热材料。当沉积材料的蒸气压超过真空室的温度时，材​​料将开始蒸发并沉积到基板上。

SYSKEY的热蒸发可以精准的控制蒸发速度，且薄膜的厚度和均匀度小于+/- 3％。

 

 

 

 

離子源可用於基板清潔和加速材料的蒸發速度，並且離子源在材料沉積過程中可幫助沉積並使沉積後的薄膜更為緻密。