电子束蒸发其电子束是由钨丝所产生，并受到电场和磁场的驱动而朝向蒸发材料，当电子与材料撞击时，电子的动能将转换成热能，及加热材料，使材料由固态转化为气态以沉积在基板表面上。且该过程需在高真空环境中，通过自由路径的方式在基板表面上形成薄膜。

超高真空环境为其真空压力低于10的-8至10的-12 Torr，真空环境对于研究非常重要，表面应保持无污染并使用较低能量的电子和离子的实验技术使用。

在半导体制程中，当遇到不易使用蚀刻方式来完成想要的电路图案时，就可以采用 Lift-Off制程来做出想要的金属图案。在此过程中，电子束蒸发于在基板表面上沉积所需的薄膜层于牺牲层与基材上，最终在洗去其牺牲层，以得到其电路图案。