感应耦合电浆蚀刻
感应耦合电浆(ICP)蚀刻是在标准反应离子蚀刻(RIE)的基础上,添加电感耦合电浆的。感应耦合电浆由磁场围绕石英晶体管所提供。产生的高密度电浆被线圈包围,将充当变压器中的次级线圈,加速电子和离子,从而引起碰撞,产生更多的离子和电子。
高密度的电浆和低真空度增强了具有非等向性的高蚀刻速率。可以根据制程要求通过调节来自射频发生器的直流偏压来控制离子和电子能量。
SYSKEY的系统可以精准的控制制程气体与电浆制程,并提供高精准度的薄膜蚀刻。
应用领域 | 腔体 |
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配置和优点 | 选件 |
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