化學氣相沉積
化學氣相沉積為一種製備於高純度、高性能的固態材料的化學技術。因此，該製成通常在半導體工業中製備薄膜，而所沉積的材料包誇:鑽石、矽、碳纖維、奈米線、奈米碳管、SiO2、鎢以及具有High-K特性的材料。
+886-3-5590169
+886-3-5574282
info@syskey.com.tw
類鑽碳膜製程設備
類鑽碳 (DLC) 塗層是一種無定形納米複合碳材料，具有與天然金剛石相似的特性，包括低摩擦、高硬度和高耐腐蝕性。正確的塗層可以減少滑動磨損，而類鑽碳 (DLC)鍍膜機可以提供正確的塗層。當您為您的產品添加 DLC 塗層時，它們的硬度和耐腐蝕性可與鑽石相媲美。類鑽碳膜 (DLC)具有高硬度、耐腐蝕、抗磨損、低摩擦等優點，可應用於工具塗層、半導體模具、光學鏡頭、醫療器械等。
SYSKEY 的類鑽碳 (DLC)鍍膜機可以通過監測參數（腔室壓力、特殊氣體的質量流量）單獨精確控制工藝氣體。此外，SYSKEY的類鑽碳膜 (DLC)具有更好的附著力和高韌性的特性，可以滿足獨特產品應用的硬度、電阻率和耐磨性的要求。
| 應用领域 | 腔體 |
|
|
| 配置和優點 | 選件 |
|
|
