+886-3-5590169
+886-3-5574282
info@syskey.com.tw

Продукты

Термовакуумное испарение металлов

Установка термического испарения органических материалов - система, предназначенная для осаждения органических материалов на поверхность подложки. Данный процесс требует высокой точности и однородности тонких пленок, что достигается посредством точного регулирования температуры и скорости осаждения.

 

Для достижения этих требований система термического испарения органических материалов использует эффузионную ячейку в качестве источника нагрева с металлическим, кварцевым, керамическим или органическим PBN-тиглем для распыляемого материала, а также пид-контроллер для управления скоростью осаждения. Установка обычно используется в исследованиях по органической электронике, таких как OPV, OLED, OPD. 

   Органический светодиод с высокой  Машинное зрение для совмещения
      проницаемостью фотошаблона и подложки, точность
  ≦ ±5 мкм。

Система инкапсуляции

Компания Syskey производит лабораторное оборудование для герметизации стекло-в-стекло и специализированные пресса. Мы интегрируем систему нанесения компаунда (УФ-отверждаемый клей или жидкий герметик) и УФ-лампы в перчаточный бокс или в отдельную камеру для герметизации, куда можно загружать сам корпус вручную или посредством автоматической системы.

Гибкие OLED-дисплеи должны быть тонкими и без проблем изгибаться, поэтому корпусирование в стекло не подходит для этого типа. Необходимо использовать технологию тонкопленочной герметизации (TFE) или гибридной сборки. Для реализации TFE-процесса компания Syskey представляет линейку оборудования, состоящую из установок плазменно-усиленного химического осаждения из паровой фазы, установки атомно-слоевого осаждения и систему покрытия париленом. Мы используем низкотемпературную технологию формирования тонких плёнок для нанесения нескольких слоев (SiNX, SiOXNX, Al2O3, ZnO, парилен) на OLED-дисплеи, чтобы получить наилучший защитный слой и уменьшить количество кислорода и воды, тем самым улучшая срок службы и производительность OLED-дисплеев.

 

            Установка атомно-слоевого осаждения   Установка нанесения парилена Установка плазменно-усиленного
                                                   химического осаждения

 

  Скорость передачи данных по 5х10-4 г/м2/день

  
TEST RESULTS IN SELECTED UNITS      Срок службы OLED под TFE, при изначальном       Проницаемость тонкоплёночного 
Transmission Rate: -6.603313(<0.5) mg/[m2-day]           уровне освещения 10000 Кд/м2       герметизирующего
Permeation: -3.119675 mg-mil//[m2-day]    
Date points        
Time Rate/Event Time Rate/Event Time Rate/Event Time Rate/Event  
0:00  Condition 8:00  Test 17:00   -12.75783 26:00   -7.118823  
35:00   -7.602876 44:00   -7.667113 53:00   -6.392888 62:00   -6.688553  
71:00   -6.879404 80:00   -6.768686 89:00   -6.603313 95:29   Complete  
95:29   Finished        

 


 

Область применения Вакуумная камера
  • Органические светодиоды (OLED)
  • Органические солнечные панели
  • Исследования технологических материалов

 

  • Материал – нержавеющая сталь марки 304, водяное охлаждение стенок посредством приваренных трубок из стали марки 304
  • Полностью открываемая дверь (высоковакуумная камера), два встроенных смотровых окна с заслонками для наблюдения за подложкой и тиглем
  • Предельное давление в камере примерно 10-8 Торр.
Конфигурации и преимущества Опции
  • Различный размер пластин –стекло габаритами 470 х 370 мм2
  • Отличная равномерность плёнок - менее ±3%.
  • Эффузионная ячейка (доступны тигли из металла, керамики, графита, PBN-органики)
  • Автоматическое управление скоростью осаждения: 0,01 Ȧ/сек
  • Точность испарения эффузионной ячейки: ± 0,1 °С
  • Возможность одновременной установки нескольких источников с последовательным включением или совместным напылением 
  • Точность совмещения фотошаблона и подложки посредством машинного зрения ≤ ±5 мкм
  • Заслонки устанавливаются на каждый источник и на подложку 
  • Интеграция со шлюзовой камерой, роботом-манипулятором для перемещения подложек, перчаточным боксом.
  • Анализатор остаточных газов.