Сухое травление
Сухое плазменное травление (или просто "сухое травление") – это процесс удаления материала с поверхности другого материала с помощью плазмы.
Реактивное ионное травление RIE
В реактивном ионном травлении (RIE) могут очень точно контролироваться профиль травления, скорость травления, однородность и повторяемость.
Возможны как изотропные, так и анизотропные профили травления. Таким образом, RIE-процесс представляет собой химико-физический процесс травления и является наиболее важным процессом для создания различных пленок в производстве полупроводников. Установка производства компании Syskey управляет газом и плазмой, получая в итоге высококачественные тонкие пленки.
Область применения | Вакуумная камера |
|
|
Конфигурации и преимущества | Опции |
|
|