магнетронного напыления
Магнетронное напыление – это метод нанесения тонких пленок посредством распыления материала мишени в плазме магнетронного разряда.
Конвейерная PVD-установка
В качестве источников питания может быть использован любой из различных доступных типов: радиочастотный (ВЧ), на постоянном (НЧ) или импульсном постоянном токе, как это необходимо для конкретной задачи. Дополнительные операции, такие как травление, нагрев или воздействие ионными источниками также могут быть размещены по ходу движения подложки. Полный набор инструментов и средств управления доступен для получения металлических/токопроводящих покрытий, диэлектриков, оптических покрытий или для иных областей применения.
Установка напыления конвейерного типа SYSKEY обеспечивает точный контроль условий проведения процесса напыления по всей линии для получения клиентами тонких пленок самого лучшего качества.
Область применения | Вакуумная камера |
|
|
Конфигурации и преимущества | Опции |
|
|