CVD
Осаждение из газовой фазы – это технология формирования тонких пленок из высокочистых материалов с особыми свойствами.
Установки для создания плоских дисплеев
С увеличением размеров жидкокристаллических дисплеев и необходимостью производства стекла, производственное оборудование также стало крупнее, требуя ещё больших инвестиций. Оборудование компании Syskey предлагает технологическое решение для процесса получения аморфного кремния (a-Si), оксида кремния (SiOx), нитрида кремния (SiNx), оксинитрида кремния (SiON) и получения многослойных структур.
Область применения | |
|
|
Конфигурации и преимущества | Опции |
|
|