Электронно-лучевое напыление
Электронный луч генерируется в электромагнитном поле с помощью вольфрамовой нити. Под воздействием энергии луча материал источника испаряется и осаждается на поверхность подложки.
Электронно-лучевое испарение
Установка электроннолучевого напыления от компании Syskey — это практичная и высоконадежная система. Наша система может использовать один большой тигель для условий массового производства или несколько тиглей для достижения многослойной пленочной структуры. Мы поддерживаем направления исследования полупроводниковых материалов и проектируем крупногабаритное оборудование. Планетарная система вращения для одной или нескольких подложек помогает управлять скоростью напыления и толщиной пленки, а однородность составляет менее ±3%.
Для большей универсальности процесса можно интегрировать ионный источник для ионно-плазменного напыления или предварительной очистки.
Область применения | Вакуумная камера |
|
|
Конфигурации и преимущества | Опции |
|
|