Термическое испарение – наиболее часто используемый метод физического осаждения из газовой фазы. Равно как и наиболее простой. Источник испарения с электрическим нагревом может быть использован для осаждения большинства органических и неорганических тонких пленок, среди которых наиболее распространен метод Джоуля. Преимущество подобных источников испарения заключается в том, что они могут обеспечить простой способ осаждения тонкой пленки. Электрический ток протекает через элемент сопротивления, который и является источником осаждаемого материала, тем самым его нагревает. Когда температура достигнет такого значения, что давление пара осажденного материала превысит температуру вакуумной камеры, материал начнет испаряться и осаждаться на подложку. Установка производства компании Syskey позволяет управлять скоростью испарения, толщиной плёнки, а её получаемая равномерность менее, чем ±3%.

Ионный источник может быть использован для очистки и ускорения испарения материала, также полезен для осаждения, более направленного, компактного напыления плёнок во время процесса.