+886-3-5590169
+886-3-5574282
info@syskey.com.tw

Продукты

Кластерное оборудование

Многокамерная кластерная система представляет собой кластер из нескольких вакуумных установок, соединенных между собой через передаточную камеру, расположенную в центре кластера. Все процессы от передачи подложки, осаждения, испарения осуществляются непрерывно без нарушения вакуума. Подложки и маски загружаются через шлюз или перчаточную камеру, который соединяется с передаточной камерой. Весь этот процесс сводит к минимуму воздействие внешней среды для предотвращения окисления на поверхности подложки в процессе многослойного осаждения и обеспечивает максимальную эффективность изготовления устройства. Syskey обеспечивает кластер на основе требований заказчика. Наша система обычно интегрирует в себе установки испарения, травления, PECVD, ALD, отжига, плазменной очистки и охлаждения, которые применяются для производства FPD, в электронной промышленности, солнечных элементах и полупроводниковой промышленности. 


 

Применения Камера
  • Полупроводники.
  • Солнечные панели.
  • Светодиоды.
  • Органические светодиоды OLED.
  • Оптические устройства OPV.
  • Плоские дисплеи FPD.
  • Гибкие размеры камер зависят от размера подложки и области применения.
  • Камера из алюминия с роботом-манипулятором для перемещения подложки между камерами.

 

  Опции
 
  • Термическое испарение.
  • PECVD.
  • Сухое травление.
  • ALD/PEALD.
  • Плазменная очистка.
  • Отжиг.
  • Электронно-лучевое напыление .