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设备产品

串集多腔镀膜设备

多腔體鍍膜系統是一組真空腔系統,這些真空腔系統通過位於系統中心的傳輸腔相互連接。從基材的清潔、鍍膜與封裝的所有過程都在不破壞真空的環境下連續進行。所有這些過程使外部環境的影響最小化,以防止在沉積的過程中基板表面氧化,並為元件製造提供了最大效率。

Syskey可根據客戶要求提供多腔體鍍膜系統。 我們的系統通常包含濺鍍、蝕刻、PECVD、熱蒸發、ALD、退火、電漿清洗和冷卻系統,這些系統可用於FPD、電子行業、太陽能電池和半導體行業。


 

應用领域 腔體
  • 半導體行業。
  • 太陽能電池
  • LED
  • 有機發光二極體
  • 有機光伏打電池
  • 平板顯示器
  • 客製化的腔體尺寸取決於基板尺寸和應用
  • 帶有機械手臂的鋁製腔體,用於在腔體之間的傳送

 

  選件
 
  • 濺鍍
  • PECVD
  • 乾蝕刻
  • ALD/ PEALD
  • 電漿清洗
  • 熱退火
  • 電子束蒸發
  • 熱蒸鍍